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[期刊论文] 作者：徐毓尤,
来源：仪表技术与传感器 年份：1995
化学传感器国际会议(简称IMCS)和固态传感器执行器国际会议(简称Transducers’xx)是最权威最有影响的国际传感器学术会议。Transducer’811981年在美国波士顿举行,以后每两年...
[期刊论文] 作者：徐毓尤,徐玉成,
来源：电子科技 年份：1999
当前流行的硅基做加工技术主要有体微加工（bulkmieromachining）和表面做加工（sutheemic。achini。）两种。它们之间的主要区别为：前者将微机械的运动部件制作在硅衬底里，后者则将微...
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