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[期刊论文] 作者:徐运扬,徐康康,, 来源:控制理论与应用 年份:2015
为提高原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)中微悬臂梁分布参数模型的精度,本文提出了包含非线性时空特性的改进模型,在此基础上简化控制器的结构.首先加入非线性补偿项...
[期刊论文] 作者:徐运扬,徐康康,沈平,, 来源:传感技术学报 年份:2015
AFM(Atomic Force Microscope,原子力显微镜)中的压电陶瓷驱动器具有率相关迟滞非线性特性,这会影响AFM的扫描和定位精度。针对传统静态迟滞模型不能反映系统率相关动态迟滞...
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