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[学位论文] 作者:徐选文,, 来源:天津大学 年份:2016
用在半导体和光电产品领域的硅材料对纯度有着极为严格的要求。在化学气相沉积炉内的氢气中,即便包含极微量的磷化氢杂质也会对材料的质量产生严重影响。因此,将磷化氢的含量...
[期刊论文] 作者:黄国强,王丽丽,徐选文,, 来源:天津大学学报(自然科学与工程技术版) 年份:2015
在高压间歇釜式反应器中,考察了6种催化剂对三氯氢硅(TCS)歧化反应的催化效果.选取催化效果最佳的大孔弱碱性阴离子交换树脂PA100为催化剂,研究了催化剂用量、颗粒尺寸、温度...
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