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[会议论文] 作者：戈肖鸿,陈芬扣,
来源：第四届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1995
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[期刊论文] 作者：陈琳,李伟,戈肖鸿,车录锋,,
来源：半导体技术 年份：2011
设计并制作了一种新型的基于Si塑性变形的二维驱动器,驱动器由外围垂直驱动和内部水平驱动两部分组成。驱动器的制作采用普通Si片Si-Si键合技术,首先在结构片正面制作出绝缘...
[期刊论文] 作者：徐峥谊,熊斌,王跃林,戈肖鸿,
来源：微细加工技术 年份：2001
阐述了微机械制造工艺制作红外热堆探测器的方法,其采用新的正面湿法腐蚀的方法释放体硅,获得悬梁结构的红外热堆探测器.该探测器用LPCVD(低压化学气相沉积)氮化硅膜,与热氧...
[期刊论文] 作者：肖育华,宋朝辉,戈肖鸿,车录锋,,
来源：传感器与微系统 年份：2011
设计了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器,中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑。驱动器的制作采用硅—硅键合技术,首先利用DRIE干法刻蚀技术释放可动梳齿与固定梳齿,然后通过各...
[期刊论文] 作者：孙承龙,戈肖鸿,王渭源,姜建东,
来源：传感器世界 年份：1996
本文概述了微机的发展前景和反应离子刻蚀技术在微机械研究中的应用。采用ＮＦ３ＴＳＦ６／ＣＣｌ２Ｆ２混合气体，在平板型反应离子刻蚀仪上，对硅进行了反应离子深刻蚀的研究，获得了一批经验数据。......
[期刊论文] 作者：夏伟锋,冯飞,王权,熊斌,戈肖鸿,,
来源：半导体光电 年份：2010
通过实验研究表明:不同预处理方法对KOH腐蚀后硅片表面粗糙度的影响不同,分别用35℃的BOE(7:1氟化铵腐蚀液)、常温BOE、10:1HF、50:1HF含HF成分的腐蚀液对硅片进行预处理,再...
[会议论文] 作者：鲍海飞,熊斌,戈肖鸿,王渭源,王跃林,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
在MEMS加工工艺中,利用ICP技术,交替采用钝化和腐蚀的方法进行微结构的加工和制备已经成为一种行之有效的手段,其中对钝化膜摩擦特性的研究尚不多见.在本文,采用三种不同的贴片方式,在硅基底上制备了厚度为200nm和500nm的钝化膜.利用原子力显微镜考察了样品的表......
[期刊论文] 作者：陈强,杨静宇,董涛,陈运生,戈肖鸿,解健芳,
来源：机械工程学报 年份：2004
将微管道换热器抽象成多孔介质模型,由Brinkman-extended Darcy方程出发,分别按照双方程模型和单方程模型进行求解,以得到微管道内流体的速度场和温度场分布,并对单方程模型...
[期刊论文] 作者：张云胜,冯飞,魏旭东,戈肖鸿,王跃林,,
来源：传感器与微系统 年份：2015
为解决光读出红外成像焦平面阵列器件的真空封装,提出了一种新颖的真空封装方法。该封装结构由可见光窗口、硅垫片和红外窗口三部分构成。硅垫片和可见光窗口（玻璃）通过阳极键......
[期刊论文] 作者：游文斌, 冯飞, 俞正寅, 戈肖鸿, 刘明, 李昕欣,,
来源：传感器与微系统 年份：2017
作为微型气相色谱仪（Micro GC）的关键部件的微型热导检测器（Micro TCD）,其噪声主要来自于温度波动和气流抖动等因素。从理论上分析了Micro TCD噪声的主要来源,使用COMSOL仿真得到...
[期刊论文] 作者：霍建琴,冯飞,王文荣,戈肖鸿,李铁,王跃林,
来源：传感器与微系统 年份：2012
微米尺度热学性能测试需要在微米尺度内产生稳定的温度场并准确测量温差,对此设计并制作了一种微米尺度温差测试结构。当在测试结构的加热电极施加0.1,0.2,0.3,0.4,0.5V的电...
[期刊论文] 作者：王文辉,唐衍哲,戈肖鸿,吴亚明,杨建义,王跃林,
来源：半导体学报 年份：2005
研究了基于绝缘材料上的硅(SOI)材料的平面波导刻蚀光栅分波器的主要制作工艺．利用电感耦合等离子体刻蚀(ICP)技术，在SOI材料上制作了垂直度大于89°的光滑的光栅槽面．氧化...
[会议论文] 作者：黄树森;李昕欣;戈肖鸿;解健芳;陈士清;王跃林;,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
本文提出了一种新型的微梁直拉直压微机械压阻式加速度传感器.理论模型和有限元模拟分析了一种特殊的三梁结构,此结构能极大的提高传感器的灵敏度,同时具有较高的自由振动频...
[期刊论文] 作者：郭方敏,赖宗声,朱自强,贾铭,初建朋,范忠,朱荣锦,戈肖鸿,,
来源：半导体学报 年份：2003
介绍了一种制作在低阻硅(3～8Ω·cm)上的悬臂式RFMEMS开关。在Cr／Au CPW共面波导上，金／SiOxNy／金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂，静电受激作为开关机理。当开关处于“关断”......
[期刊论文] 作者：程保罗,李昕欣,王跃林,焦继伟,车录锋,杨恒,戈肖鸿,宋朝晖,
来源：半导体学报 年份：2005
研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器．为实现该加速度传感器，提出了一套新的体硅微机械工艺，使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件．传感器采用在深槽侧壁(悬......
[期刊论文] 作者：郭方敏,赖宗声,朱自强,贾铭,初建朋,范忠,朱荣锦,戈肖鸿,杨根,
来源：半导体学报 年份：2020
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[期刊论文] 作者：郭方敏,赖宗声,朱自强,贾铭,初建朋,范忠,朱荣锦,戈肖鸿,杨根庆,陆卫,
来源：半导体学报 年份：2003
介绍了一种制作在低阻硅 (3～ 8Ω· cm)上的悬臂式 RF MEMS开关 .在 Cr/ Au CPW共面波导上 ,金 /Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂 ,静电受激作为开关机理 .当开...
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