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[会议论文] 作者：戚永乐[1]张瑞英[2]张震[1]朱健[1]王岩岩[1]孙玉润[1]赵勇明[1]董建荣[1]王庶民[3],
来源：第十四届全国固体薄膜学术会议 年份：2014
本文通过光学显微镜、原子力显微镜、微拉曼光谱对基于ART机理的在纳球光刻GaAs衬底孔洞区异质外延InP成核层开展研究.结果显示InP的成核层生长和孔洞的大小、方向、位置关系...
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