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[期刊论文] 作者:戚红英,王云彪,,
来源:电子工艺技术 年份:2012
在锗加工工艺中,干燥技术对于加工的成品率和抛光片表面质量有着重要的影响。介绍了异丙醇脱水干燥技术的原理,分析了异丙醇脱水技术对超薄锗抛光片的适用性。采用湿法清洗技...
[期刊论文] 作者:秦伟亮,常耀辉,戚红英,窦连水,
来源:电子工业专用设备 年份:2018
分析了硅晶片电阻率测试的重要性并介绍了国内外常用的电阻率测试方法,并对使用最广泛的工艺检测手段 - 四探针技术的原理、测准条件及发展状况进行了详细的介绍。...
[期刊论文] 作者:佟丽英, 王俭峰, 史继祥, 张继荣, 邢友翠, 戚红英, 李亚,
来源:半导体技术 年份:2010
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[期刊论文] 作者:佟丽英,王俭峰,史继祥,张继荣,邢友翠,戚红英,李亚帅,
来源:半导体技术 年份:2010
高频光电导衰减法是测量Ge单晶少数载流子寿命常用的方法,高频脉冲信号照射到单晶表面时,产生非平衡载流子,非平衡载流子的复合时间长短反映了少数载流子寿命的大小。电阻率...
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