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[学位论文] 作者:敦亚琳,, 来源:河北工业大学 年份:2010
微晶硅锗薄膜作为窄带隙材料,具有吸收系数高、带隙可调的优点,是非常有前景的叠层太阳电池的底电池吸收层材料。但薄膜中锗的增加,使缺陷态增多,影响薄膜的光电性能,阻碍了其在太......
[期刊论文] 作者:敦亚琳,张建军,张丽平,张鑫,曹宇,郝秋艳,耿新华,赵颖,, 来源:光电子.激光 年份:2011
分别以Si2H6和GeH4及SiH4和GeH4两种组合气体为源气体,用甚高频等离子增强化学气相沉积(VHF-PECVD)制备μc-SiGe薄膜,用Raman散射光谱和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构进行研...
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