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[学位论文] 作者:文庆涛,, 来源:北京交通大学 年份:2020
X射线具有能量高,波长短,穿透性强等特点,在显微成像邻域得到广泛应用和长足发展。其在显微成像邻域应用能够实现深的穿透能力,具有高分辫率和丰富的成像衬度等特点,能够对样品内部结构灵活无损的进行三维成像观测。在生物医学、纳米材料、集成电路和环境检测等......
[期刊论文] 作者:明帅强,文庆涛,高雅增,闫美菊,卢维尔,夏洋, 来源:材料导报 年份:2021
本工作以单晶硅为衬底,乙醇钽和水分别为钽源和氧源,研究原子层沉积技术制备氧化钽薄膜的工艺,考察了乙醇钽温度、衬底温度、脉冲时间等工艺条件对氧化钽薄膜的生长速率、粗...
[期刊论文] 作者:吴鹿杰,文庆涛,高雅增,卢维尔,夏洋,李艳丽,孔祥东,韩立, 来源:光子学报 年份:2021
基于原子层沉积与聚焦离子束切割抛光相结合的工艺,提出了一种多层膜型波带片制备技术。利用耦合波理论计算出最外环宽为10 nm的Al2O3/HfO2、Al2O3/SiO2、Al2O3/Ir和Al2O3/Ta...
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