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[期刊论文] 作者:施秉旭, 来源:电子技术与软件工程 年份:2016
在能源被过度消耗的今天,太阳能以其环保和取之不尽的特点作为新型能源得到了全球广泛的关注,其前景非常广阔。但是,使用太阳能也有着一定的局限性。太阳昼夜交替,太阳能只能...
[期刊论文] 作者:施秉旭, 来源:电子世界 年份:2021
氮化硅具有良好的介电特性(介电常数低、损耗低)、高绝缘性,高致密性的氮化硅对杂质离子有很好的阻挡能力。PECVD法工艺复杂,沉积过程的控制因素较多,沉积条件对介质薄膜的结构与性能有直接的影响。在PECVD淀积过程中必须对多个参数进行控制,因此,优化沉积条件......
[期刊论文] 作者:施秉旭, 来源:电子世界 年份:2021
在太阳能电池片的生产工艺流程中,镀膜(PECVD)工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料装机完成.通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹,制定了针对机器人插片时掉片这...
[期刊论文] 作者:施秉旭, 来源:电子世界 年份:2021
<正>在太阳能电池片的生产工艺流程中,镀膜(PECVD)工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料装机完成。通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹,制定了针对机器人插片时掉片这一问题的解决措施。氮化硅薄膜具备较好的阻隔钠离子、掩蔽金属以及水蒸气散发的功能,......
[期刊论文] 作者:施秉旭 李金甫, 来源:大众科学·下旬 年份:2020
摘 要:特色小镇的建设是经济新常态下供给侧结构性改革的战略选择,是加快产业转型升级和推动经济发展的重要举措。本文分析了德州市太阳能特色小镇建设的优势条件,查摆了特色小镇建设中存在的问题,提出了德州市太阳能特色小镇建设的对策建议。  一、选题意义  ......
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