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[学位论文] 作者：曹哲琰,
来源：北京邮电大学 年份：2021
随着无线通信技术的飞快发展及5G时代的来临,集成化,小型化成为无线射频终端的发展趋势。微机电(MEMS)体声波谐振器作为目前唯一能实现射频前端频率器件高性能化、小型化、集成化需求的微机电系统器件,成为当今5G时代的研究热点。同时,与传统的介质滤波器和声表......
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