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电子纸的2W2D工艺改善研究
[期刊论文] 作者：佟月,佟硕,王凤涛,曹洪韬,刘艳葵,耿红帅,李森,张鹏曲,卢, 来源：液晶与显示 年份：2020
在电子纸行业中,为了减少光刻次数、降低成本,部分产品的TFT基板会采用半色调掩膜工艺,传统的一次湿刻一次干刻(1W1D)方法要求半色调掩膜光刻胶厚度与均一性同时满足较高要求...
电子纸的2W2D工艺改善研究
[期刊论文] 作者：佟月,佟硕,王凤涛,曹洪韬,刘艳葵,耿红帅,李森,张鹏曲,卢凯,孙亮,张磊,陈思,王威,, 来源：液晶与显示 年份：2020
在电子纸行业中,为了减少光刻次数、降低成本,部分产品的TFT基板会采用半色调掩膜工艺,传统的一次湿刻一次干刻(1W1D)方法要求半色调掩膜光刻胶厚度与均一性同时满足较高要求...
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