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[会议论文] 作者:曾中明;韩秀峰;詹文山;, 来源:2004年中国材料研讨会 年份:2004
利用磁控溅射方法沉积双势垒磁性隧道结多层膜,其中Al-O势垒层由等离子体氧化1nm厚的金属铝膜方式制备,然后采用紫外曝光和Ar离子刻蚀技术、微加工制备出长短轴分别为6μm和3...
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