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[学位论文] 作者：曾发燕,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2021
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System,微型机电系统）陀螺仪是一种基于科里奥利力效应的传感器,用于检测物体旋转角速度,是航空航天,海底潜艇和姿态测量等领域的关键组件。随着新兴高端应用对高性能MEMS碟形陀螺的需求加强,提升了陀螺机械结构的性能要求,并促进......
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