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[学位论文] 作者：朱海科,,
来源：华中科技大学 年份：2011
MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)技术是生长GaN材料的关键工艺,目前国内的MOCVD技术研究还处于初级阶段,尚未有生产厂家能够提供量产型的MOCVD设备,所需的设...
[期刊论文] 作者：朱海科,甘志银,刘宇峰,,
来源：机电工程 年份：2011
为解决在真空腔体中如何利用燕尾槽进行O形圈密封的问题,首先介绍了燕尾槽在金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备研制中的应用,接着介绍了O形圈密封失效的准则,然后利用ANSYS商...
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