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[期刊论文] 作者：吕建治,朱纪伍,
来源：表面技术 年份：2005
本实用新型公开了一种用于气相沉积的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置。它包括沉积室、支架以及设置在内支架内的蝶阀、罗茨泵、机械泵，在支架的上部横置有沉积室，沉积室的两端设......
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