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[学位论文] 作者:李城钰,
来源: 年份:2009
高可靠长寿命小型超高真空密封器件已在很多重要领域得到广泛应用,微型离子泵成为其运行的保障。对于不允许高温烘烤去气的小型真空器件,储存一段时间后由于累积出气导致气压超过微型离子泵的启动压强,而使整个器件报废。在超高真空下的离子泵抽气有局限性,有待......
[期刊论文] 作者:李城钰,齐京,陈旭,,
来源:真空 年份:2009
为确保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和长寿命,开发了一种带非蒸散型吸气剂的微型复合离子泵(Mini-Combination Ion Pumps with NEG).在新建的微型离子泵性能测试系统上,研...
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