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[学位论文] 作者：李明茁,
来源：中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) 年份：2022
随着大口径光学元件在天文、遥感等领域的应用取得越来越多的成就,我国对于高水平先进光学系统的需求越来越高。干涉补偿检验技术作为目前唯一的纳米精度的面形检测手段,在检测大口径、长光路、高精度、高非球面度的光学表面时面临着巨大挑战。一般来讲,干涉补......
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