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[期刊论文] 作者:Andreas,Schilling,李浏(译), 来源:云光技术 年份:2006
介绍一种有限元方法,用它能计算软化光致抗蚀剂技术(回流技术)所成形折射微透镜的3-D表面轮廓。微透镜的几何形状可以是任意的。考虑了微透镜的表面张力和重力。重力对表面形状......
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