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[会议论文] 作者：屈新萍,茹国平,吴卫军,李炳譤,
来源：第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份：1999
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[会议论文] 作者：屈新萍,茹国平,李炳譤,吴卫军,
来源：第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份：1999
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