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[期刊论文] 作者：崔琳,李锁印,
来源：河北工业大学成人教育学院学报 年份：1999
本文介绍了微电子行业中以光学系统为主体的测试类仪器的特点及使用范围，作者根据长期的工作实际，为合理使用此类仪器提供了科学依据。...
[期刊论文] 作者：李蔚,李锁印,,
来源：工业计量 年份：2002
高低温试验箱是半导体器件和部件做环境试验的关键设备,其温度的准确度直接关系到产品的质量,文章对高低温试验箱的检测系统作了测量不确定度分析。...
[期刊论文] 作者：李锁印,崔琳,
来源：河北工业大学成人教育学院学报 年份：1999
本文就微电子行业中膜厚测量设备的检定方法做了大胆的尝试。自己制做了若干标准块，达到使用要求。...
[会议论文] 作者：李锁印,王亚军,
来源：2008年计量与测试学术交流会暨无线电计量校准技术研讨会 年份：2008
回顾了纳米技术的发展过程介绍了纳米计量的必要性重点叙述了目前常用的两种纳米测量技术:激光干涉法和扫描探针法。...
[期刊论文] 作者：李锁印,韩志国,王亚军,,
来源：工业计量 年份：2008
红外膜厚测量仪是一种测量外延层厚度和掺杂浓度的仪器，目前国家尚没有检定规程或校准规范。文章给出了一种用测量显微镜先标定样块，然后用样块校准红外膜厚测量仪的方法，并给出......
[期刊论文] 作者：张晓东, 韩志国, 李锁印, 梁法国,,
来源：中国测试 年份：2019
针对膜厚标准样片的高精度测量问题,基于光谱型椭偏仪测量系统,提出对膜厚标准样片逐层分析的方法。利用相应的匹配算法,对比硅上二氧化硅模厚标准样片的等效结构模型和四相...
[期刊论文] 作者：许晓青,李锁印,赵琳,张晓东,
来源：宇航计测技术 年份：2019
论述了以CD-SEM作为核心仪器评价微米尺度格栅标准样片质量参数的方法。以某标称线距尺寸为3μm的不同材料、不同格栅高度的标准样片为例进行了各项质量参数的测量,并对实验...
[期刊论文] 作者：冯亚南,李锁印,韩志国,,
来源：计测技术 年份：2013
我国新颁布了JJF1059．2—2012《用蒙特卡洛法评定测量不确定度》，该规范规定了用蒙特卡洛法（MCM）评定与表示测量不确定度的方法，并提供了检查GUM法是否适用的验证方法。本文以量块......
[期刊论文] 作者：郑晓敏,李锁印,韩志国,孙悦,,
来源：计测技术 年份：2015
给出了表面组装工艺中加热平台的校准方法,并以JRT-1612型号的加热平台为例,介绍了加热平台的校准过程及其不确定度的评定,总结了加热平台校准过程中的注意事项,为该类仪器的...
[期刊论文] 作者：李锁印, 李建强, 魏玲, 王亚军,,
来源：计算机与数字工程 年份：2010
文章介绍了膜厚类测试仪比对方法的设计、比对结果的处理及比对周期的选取等,给出了台阶仪和光谱型膜厚测量仪的实际结果。该方法也适用于其他仪器的比对,并给出了比对中应注...
[会议论文] 作者：冯亚南,李锁印,孙悦,郑晓敏,
来源：第十五届中国湿度与水分学术交流会 年份：2014
温湿度表在国民经济工农业生产中用途非常广泛,数量庞大,由于其检定过程耗时长,后期数据处理、证书打印比较繁琐,导致计量工作过程出错率较高.针对这些问题,本文给出了一个具...
[期刊论文] 作者：韩志国, 李锁印, 冯亚南, 赵琳,,
来源：微纳电子技术 年份：2004
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[期刊论文] 作者：韩志国,李锁印,冯亚南,赵琳,,
来源：上海计量测试 年份：2017
研究了目前国际上通用的图像拼接技术,针对白光干涉方法测量台阶高度样块图像视场区域小的问题,提出了一种使用台阶边缘作为匹配点、基于三维点集的台阶样块图像拼接方案,实现了台阶样块图像三维自动拼接,满足了按照国际通用的单线评价法对台阶高度进行评定的要......
[期刊论文] 作者：韩志国,冯亚南,赵琳,李锁印,
来源：中国计量协会冶金分会冶炼传感器专委会2011年年会及技术交流会 年份：2011
氢气纯度奥氏气体分析仪是一种监测生产氢气纯度的仪器，目前国家还没有检定规程或校准规范用于该类分析仪的检定或校准。因此解决氢气纯度奥氏气体分析仪的校准已成当务之急。文章给出了一种使用有证标准气体对奥氏气体分析仪进行校准的方法，并给出了测量不确定度......
[期刊论文] 作者：冯亚南,李锁印,韩志国,赵琳,
来源：2016计量测试技术交流会 年份：2016
介绍了一种基于白光干涉仪测量台阶高度的方法.首先,介绍了白光干涉的原理;其次,对台阶高度的定义及其表征方法进行了论述,依据该方法,使用白光干涉仪对VLSI的型号为SHS-9400QC的样块进行测量;最后,对影响测量结果的分量进行分析,给出了不确定度评定方法.......
[期刊论文] 作者：赵琳,张晓东,李锁印,韩志国,吴爱华,
来源：计算机与数字工程 年份：2021
为解决微电子行业内扫描电镜的计量需求,结合现有扫描电镜的计量技术文件,研究了基于线距标准样片的扫描电镜校准方法。首先,采用半导体工艺研制了用于计量扫描电镜的线距标...
[期刊论文] 作者：韩志国,李锁印,冯亚南,许晓青,,
来源：计测技术 年份：2013
当采用不确定度传播律进行测量不确定度评定(GUM)感到困难或不方便时,蒙特卡洛法是实用的替代方法。在GUM建立数学模型、设定输入量概率密度函数的基础上,通过对概率分布随机...
[期刊论文] 作者：韩志国, 梁法国, 栾鹏, 吴爱华, 李锁印,,
来源：计算机与数字工程 年份：2015
目前,常用的S参数测量不确定度评定方法中均未考虑S参数相关性的问题,论文给出了一种2GHz~18GHz频率范围内S参数测量不确定度的评定方法,该方法从校准件的定义出发,基于SOLT...
[期刊论文] 作者：韩志国,李锁印,赵革艳,赵新宇,,
来源：电子工业专用设备 年份：2015
介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,...
[期刊论文] 作者：许晓青, 李锁印, 赵琳, 梁法国, 孙虎,,
来源：微纳电子技术 年份：2004
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食Back to yield...
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