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[会议论文] 作者：杨发展;沈丽如;颜复秀;练友运;金凡亚;,
来源：2012全国荷电粒子源、粒子束学术会议 年份：2004
选择高纯石墨作为基体,分别在其表面利用直管磁过滤阴极弧法沉积Cr过渡层、多弧离子镀技术沉积Ti过渡层、直流磁控溅射技术沉积Si过渡层以及先等离子体注入技术注入Si再...
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