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[学位论文] 作者:杨喜锐,, 来源:大连理工大学 年份:2017
二氧化锆由于其优异的性能,比如硬度高、韧性好、抗氧化性强、热导率低、热膨胀系数高,以及良好的耐磨性和抗腐蚀性,优良的化学、机械和热稳定性等,从而被广泛应用于结构陶瓷...
[期刊论文] 作者:杨喜锐,王雪霞,周大雨,徐进,闫泳,梁海龙,, 来源:功能材料 年份:2017
二氧化铪(HfO2)是广泛应用于微电子器件制备的电介质绝缘材料,其高介电系数四方相或立方相的稳定受掺杂元素含量和薄膜厚度的共同影响。采用纯水基溶胶-凝胶法在低阻硅基底上制......
[期刊论文] 作者:周方杨,徐进,杨喜锐,梁海龙,赵鹏,周大雨,, 来源:功能材料 年份:2017
二氧化铪基新型铁电薄膜器件等研究提出了在低衬底温度下制备高导电性和低表面粗糙度纳米超薄TiN电极薄膜的迫切需求。利用直流反应磁控溅射方法在单晶硅基片上制备TiN薄膜,...
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