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[会议论文] 作者：杨宇;李德胜;杨建坤;,
来源：第十六届全国测控、计量、仪器仪表学术年会 年份：2006
本文介绍一种基于单片机系统的在MEMS实验室应用的电镀设备.该设备主要有两个部分组成:电镀槽和脉冲电镀电源.电镀槽部分控制器采用AT89C51,采用直流电机实现电镀过程中对电...
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