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[会议论文] 作者：杨帆[1]戴隆贵[2]乐艮[2]贾海强[2]何苗[3]陈弘[2],
来源：第十四届全国固体薄膜学术会议 年份：2014
目前制备纳米图形的方法主要有板紫外光刻、电子束光刻、聚焦离子束光刻、纳米压印、激光干涉光刻等.而激光干涉光刻相比其他光刻技术有着大面积、低成本、高效率等突出...
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