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[期刊论文] 作者:张毅, 陈英颖, 吴则嘉, 刘晓晗, 杨晟远, 张林春, 来源:理化检验:化学分册 年份:2005
介绍了利用辉光放电光谱法分析掺杂纳米硅薄膜,通过优化辉光光源激发参数、计算标准样品的溅射率,建立了掺杂纳米硅薄膜的定量表面分析方法.方法应用于实际掺杂纳米硅薄膜样...
[期刊论文] 作者:宓小川,陈英颖,吴则嘉,刘晓晗,杨晟远,张林春, 来源:理化检验(物理分册) 年份:2004
等离子增强化学沉积生长的纳米硅薄膜是由纳米级尺寸的晶粒和晶界组成的厚度极薄的薄膜,采用X射线薄膜衍射法即X射线以低掠射角(1°~5°)入射,延长X射线在薄膜中的行...
[期刊论文] 作者:赵涛, 张毅, 陈英颖, 吴则嘉, 刘晓晗, 杨晟远, 张林, 来源:理化检验:物理分册 年份:2005
研究探讨了镜反射红外光谱在纳米材料方面的应用.通过等离子化学气相沉积法(PECVD),制备本征和掺磷的纳米硅薄膜(nc-Si:H),利用镜反射红外光谱研究了本征和掺磷的纳米硅薄膜...
[期刊论文] 作者:赵涛,张毅,陈英颖,吴则嘉,刘晓晗,杨晟远,张林春, 来源:理化检验(物理分册) 年份:2005
研究探讨了镜反射红外光谱在纳米材料方面的应用。通过等离子化学气相沉积法(PECVD),制备本征和掺磷的纳米硅薄膜(ncSi:H),利用镜反射红外光谱研究了本征和掺磷的纳米硅薄膜...
[期刊论文] 作者:张毅,陈英颖,吴则嘉,刘晓晗,杨晟远,张林春,ZHANGYi,CHENYing-ying,WUZe-jia,LIUXiao-han,YANGSheng-Yuan,ZHANGLin-chun, 来源:冶金分析 年份:2004
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