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[学位论文] 作者：杨楠卓,,
来源：长春理工大学 年份：2020
随着微机电系统(MEMS)的发展,光学测量技术在MEMS工艺中可以作为快速、非接触、高精度的在线无损检测手段,特别是在MEMS高深宽比微沟槽结构加工工艺检测方面具有显著的发展潜...
[期刊论文] 作者：杨楠卓,欧阳名钊,周维虎,陈晓梅,
来源：长春理工大学学报:自然科学版 年份：2020
高深宽比沟槽是一种重要的微机电系统(MEMS)结构,沟槽的加工刻蚀过程中,由于工艺的影响会在沟槽顶部出现期望之外的梯形刻面,其对深度的测量将造成影响。基于光谱反射技术对...
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