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[会议论文] 作者：杨静;沈艳娇;陈静伟;陈剑辉;许颖;麦耀华;,
来源：第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会 年份：2014
考虑到氢氟酸溶液对晶体硅表面具有去氧化和氢离子钝化表面悬键的双重作用,通过改善工艺得到了有效少子寿命2ms的钝化效果.研究了不同沉积温度对p型非晶硅薄膜电导率的影响,...
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