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[学位论文] 作者：林灿发,,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2013
光刻机是大规模集成电路芯片制造的关键设备，它的性能指标直接影响到集成芯片的设计与应用范围。随着光刻机制作线宽的不断减小，生产效率不断提高，对工件台和掩模台控制系统的定......
[期刊论文] 作者：王雷, 王龙, 唐学军, 林灿发,,
来源：光学精密工程 年份：2012
针对死区效应会导致永磁同步直线电机相电流失真、推力波动,从而限制其在精密气浮工作台等高精度、低频轻载场合应用的问题,提出了一种根据相电流极性改变驱动器输入信号脉冲...
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