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[期刊论文] 作者:林路禅,刘磊,邹贵生,李铸国, 来源:机械工程学报 年份:2022
随着结构系统及功能器件的小型化,微小空间下的异质材料高效集成互连成为了精密仪器系统设计与器件开发的迫切需求.为满足高质量、批量化以及绿色环保的微纳制造工艺要求,结合先进纳米薄膜制备工艺得到的非稳态或亚稳态的纳米尺度薄膜材料由于其特殊的尺度效应......
[期刊论文] 作者:邢松龄,肖宇,霍金鹏,林路禅,沈道智,刘磊, 来源:中国激光 年份:2021
研究了金属-氧化物异质材料纳米连接过程中的飞秒激光能量输入特征,实现了纳米材料快速低损伤互连的同时,保证了器件功能的完整性。研究了纳米连接对Pt-TiO2跨尺度互连结构电学性能调控的影响。实验结果表明:当入射光能量密度为5.02 mJ/cm2时,纳米线与电极接触......
[期刊论文] 作者:霍金鹏,肖宇,孙天鸣,邢松龄,沈道智,林路禅,刘磊, 来源:中国激光 年份:2021
纳米线连接为高性能微纳器件的组装和应用提供了技术手段,但现有的连接方式对于能量输入的空间精度和外部环境要求较高,其工艺窗口较窄。为改善这一问题,以氧化石墨烯(GO)作为中间连接层的纳米线连接方式,通过干法转移制备了碳化硅(SiC)纳米线-氧化石墨烯(GO)薄......
[期刊论文] 作者:张宏强,林路禅,邢松龄,白海林,彭鹏,康慧,郭伟,刘磊, 来源:中国激光 年份:2021
纳米科技的快速发展对组装纳米结构单元并实现具有复杂功能系统的技术提出高的要求,而纳米材料的互连是这项技术的基础,也是纳米级产品集成的基础。本文综述了纳米连接领域的最新进展,特别是各种同质和异质纳米材料之间的互连机理。首先,介绍了纳米材料的互连概......
[期刊论文] 作者:肖宇,霍金鹏,孙天鸣,邢松龄,沈道智,林路禅,邹贵生, 来源:中国激光 年份:2021
纳米线的空间定位与接头连接对制备和组装高性能的纳米功能单元至关重要,开发新材料体系的高性能互连结构一直是研究重点之一。使用单脉冲能量密度为22.3 mJ/cm2的聚焦飞秒激光成功实现p型氧化铜(CuO)纳米线之间的互连,聚焦激光能量场会由CuO纳米线的几何效应在......
[期刊论文] 作者:林路禅,邢松龄,霍金鹏,肖宇,彭鹏,沈道智,刘磊,邹贵生, 来源:中国激光 年份:2021
随着新型材料特别是纳米材料在柔性多功能微纳光电子器件中的广泛应用,实现低维度下高质量材料互连成为了微纳器件高性能制造的关键。针对纳米材料自身的尺度及结构限制,传统宏观、微观尺度下的材料互连技术将难以实现在微纳空间上对输入能量的高精度控制,进而......
[期刊论文] 作者:邹贵生,闫剑锋,刘磊,吴爱萍,张冬月,母凤文,林路禅,张颖川, 来源:机械制造文摘:焊接分册 年份:2013
针对微电子元器件及其高密度系统制造,特别是大功率器件互连封装中无铅、低温互连而其接头又具有良好高温性能的需求,以作者课题组的研究为例,基于金属纳米颗粒具有高表面能的特......
[期刊论文] 作者:邹贵生,闫剑锋,刘磊,吴爱萍,张冬月,母凤文,林路禅,张颖川,赵, 来源:机械制造文摘(焊接分册) 年份:2020
[期刊论文] 作者:邹贵生,闫剑锋,刘磊,吴爱萍,张冬月,母凤文,林路禅,张颖川,赵振宇,, 来源:机械制造文摘-焊接分册 年份:2013
针对微电子元器件及其高密度系统制造,特别是大功率器件互连封装中无铅、低温互连而其接头又具有良好高温性能的需求,以作者课题组的研究为例,基于金属纳米颗粒具有高表面能...
[期刊论文] 作者:邹贵生,闫剑锋,刘磊,吴爱萍,张冬月,母凤文,林路禅,张颖川,赵振宇,周运鸿,, 来源:机械制造文摘(焊接分册) 年份:2013
针对微电子元器件及其高密度系统制造,特别是大功率器件互连封装中无铅、低温互连而其接头又具有良好高温性能的需求,以作者课题组的研究为例,基于金属纳米颗粒具有高表面能...
[期刊论文] 作者:邹贵生,林路禅,肖宇,邓钟炀,贾强,冯斌,王文淦,邢松龄,任辉,沈道智,刘磊, 来源:中国激光 年份:2021
纳米连接涉及纳-纳、纳-微-宏跨尺度的材料连接,其在微纳电子元器件及其系统、微纳光机电系统等互连封装制造和研发中起到越来越重要的作用。目前已研发了系列纳米连接工艺方法,但在高操控性能量输入、多材料选择、低损伤互连等方面均有各自的局限性。超快激光......
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