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[学位论文] 作者：林达奎,
来源：中国科学技术大学 年份：2020
软X射线平焦场光谱仪具有消像差、平焦场、结构紧凑等特点，广泛应用于同步辐射、强激光等领域。软X射线变间距光栅是平焦场光谱仪的核心元件。随着各种科学装置的性能提升，对高质量软X射线变间距光栅（如:高中心线密度、高线密度空间分布精度以及低杂散光）的需求越来......
[期刊论文] 作者：林达奎,陈火耀,刘正坤,刘颖,
来源：光学学报 年份：2018
在激光等离子体诊断等领域中,以平焦场光栅为核心器件的软X射线光谱仪发挥着重要作用。利用电子束光刻-近场全息法制作的平焦场光栅兼具电子束光刻线密度变化灵活,以及全息光栅低杂散光、抑制高次谐波等的特点。采用光线追迹方法分析电子束光刻-近场全息法制作......
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