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[学位论文] 作者：柳忠尧,,
来源：清华大学 年份：2004
论文根据国际和国内微电子工业的发展需要,对基于外差干涉原理的掩模板表面形貌测量方法进行了研究,提出了共光路外差干涉共焦显微测量系统和偏振外差干涉共焦显微测量系统,...
[期刊论文] 作者：柳忠尧,谈缨,,
来源：航天器工程 年份：2005
2005年11月19日至20日，中国宇航学会深空探测技术专业委员会第二届学术年会在北京举办。中国航天科技集团公司，中国科学院国家天文台、空间中心，中国测绘科学研究院，上海航天局等......
[期刊论文] 作者：彭兢,柳忠尧,张熵,
来源：航天器工程 年份：2008
文章针对月球软着陆任务，对整个飞行过程进行了描述，简介了着陆器的主要特性和系统总体设计，并对其中主要的几个关键分系统的特点和适应软着陆任务的方案设想进行了描述，包括结构......
[期刊论文] 作者：张熇,柳忠尧,饶炜,,
来源：航天器工程 年份：2007
月面软着陆探测器的主要任务是携带有效载荷实现在月球表面的安全着陆，其经历的主要过程包括发射段、地月转移段、近月制动段、环月段、着陆段和月面工作段。软着陆探测器面临......
[期刊论文] 作者：王峰,葛之江,柳忠尧,,
来源：航天器工程 年份：2005
主要介绍了"卡西尼-惠更斯"土星探测器的任务、构成和轨道,说明了此次探测的重要意义和目前一些探测结果,同时对我国的深空探测研究提出建议。...
[期刊论文] 作者：彭兢,柳忠尧,张熇,
来源：航天器工程 年份：2004
文章针对月球软着陆任务,对整个飞行过程进行了描述,简介了着陆器的主要特性和系统总体设计,并对其中主要的几个关键分系统的特点和适应软着陆任务的方案设想进行了描述,包括...
[会议论文] 作者：柳忠尧,张熇,贾阳,
来源：中国宇航学会深空探测技术专业委员会第二届学术会议 年份：2005
简要介绍了美国Apollo计划和前苏联Luna系列的地面试验情况,然后根据我过月球探测二期工程的情况简单分析了相关地面试验的思路和初步设想,并初步分析其中可能存在的关键技术...
[期刊论文] 作者：彭兢,柳忠尧,张熇,,
来源：航天器工程 年份：2004
文章针对月球软着陆任务,对整个飞行过程进行了描述,简介了着陆器的主要特性和系统总体设计,并对其中主要的几个关键分系统的特点和适应软着陆任务的方案设想进行了描述,包括...
[会议论文] 作者：邓湘金,柳忠尧,张熇,
来源：中国宇航学会深空探测技术专业委员会第二届学术会议 年份：2005
在火星上探测水的存在与否,以及在彗星和小行星等小天体中寻找太阳系最早的起源信息是目前国际上深空探测的两个重要热点.本文分析了我国开展火星水探测和小天体探测研究的必...
[会议论文] 作者：邓湘金,张熇,柳忠尧,彭兢,
来源：中国宇航学会深空探测技术专业委员会第三届学术会议 年份：2006
该文介绍了国外进行行星际探测的基本情况,研究了国外进行深空探测的特点,分析了我国开展火星水探测和小天体探测研究的必要性,提出了适合同时探测火星和彗星/小行星的多目标...
[会议论文] 作者：柳忠尧,张熇,彭兢,邓湘金,
来源：中国宇航学会深空探测技术专业委员会第三届学术会议 年份：2006
本文介绍了火星的基本参数,简单回顾了各国火星探测的基本历程,在此基础上分析了火星探测的基本路线,从火星探测轨道、通信技术、能源技术和科学仪器技术等方面分析了火星探...
[期刊论文] 作者：林德教,柳忠尧,徐毅,殷纯永,
来源：计量学报 年份：2004
提出一种外差干涉与共焦显微技术融合用于微电子掩膜板台阶高度测量的方法,同时实现了高分辨率(亚纳米)与较大量程(5 μm以上)测量,构成了双频干涉共焦显微系统DICM.实验比较...
[期刊论文] 作者：柳忠尧,林德教,殷纯永,蒋弘,
来源：光学技术 年份：2002
提出了一种基于横向塞曼激光器的新的滚转角测量系统。该系统在已有技术的基础上 ,将测量放大倍率又扩展了 4倍 ,从而大大提高了滚转角的测量精度。系统以横向塞曼激光器出射...
[期刊论文] 作者：林德教,柳忠尧,张蕊,殷纯永,徐毅,
来源：中国激光 年份：2003
提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统 ,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位 ,其轴向台阶高度测量范围在 5 μm以上。同时采用相位测量技术 ,实现了对半波长的 36 0 0细分 ,从而使测量分辨率达到 0 1nm。由此同时满足了......
[会议论文] 作者：彭兢,张熇,柳忠尧,邓湘金,胡智新,
来源：中国宇航学会深空探测技术专业委员会第三届学术会议 年份：2006
本文首先简单回顾了国外近半个世纪以来开展的深空探测活动,进行了简单统计和分析.随后分别介绍了俄罗斯(苏联)、美国、欧空局和日本等国家和地区开展深空探测的历史和未来的...
[期刊论文] 作者：张蕊,闫聚群,柳忠尧,毛文炜,殷纯永,
来源：光学学报 年份：2004
双焦点干涉显微镜因其高稳定性和高分辨率的特点而受到重视 ,其核心元件双折射透镜由一片双折射晶体和一片光学玻璃胶合而成。为了双折射透镜的设计工作方便 ,引入“伪色差”...
[会议论文] 作者：任露泉,贾阳,李建桥,王荣本,柳忠尧,
来源：中国宇航学会深空探测技术专业委员会第二届学术会议 年份：2005
论证了与月球车行走性能密切相关的地面机器系统研究及建立月球地面模拟实验方案,通过研究对象、科研机构的综述,阐述了地面车辆系统研究历史、现状及其与月球车的关系,根据...
[期刊论文] 作者：徐毓娴,董小满,陈永良,郑颖君,柳忠尧,
来源：光学技术 年份：2004
提出一种由两组偏光棱镜组成的透射式微分干涉系统,用来测量光纤的折射率分布。系统利用旋转检偏器对测量光束进行调制,从相位分布和光程分布中计算出折射率分布。介绍了测量...
[期刊论文] 作者：陈强华,闫聚群,柳忠尧,殷纯永,叶孝佑,许婕,
来源：计量学报 年份：2004
在高精度测量中必须实时补偿空气折射率的影响.文中提出了等效合成波的概念,利用长度不等的两个真空管构成两个虚拟波长并推导出等效合成波测量公式,并由此建立了一种新型的...
[期刊论文] 作者：董小满,柳忠尧,陈永良,郑颖君,殷纯永,徐毓娴,
来源：光学技术 年份：2004
用透射式微分干涉法测量光纤内部折射率分布,其原理是利用旋转检偏器对测量光束进行调制,从相位分布和光程分布中计算出折射率分布。其中,从光程分布中解算出折射率分布的算...
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