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[期刊论文] 作者：柳森娟,刘锋敏,,
来源：科技情报开发与经济 年份：2010
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[期刊论文] 作者：杨晓东,柳森娟,刘锋敏,,
来源：科技情报开发与经济 年份：2009
磁控溅射镀膜技术在薄膜制备领域广泛应用,控制系统的设计对磁控溅射镀膜设备的稳定运行有着重要的影响。介绍了基于嵌入式一体化工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备电气自动...
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