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[期刊论文] 作者:齐军,王昆林,梁绵长,朱允明,
来源:材料工程 年份:1999
研究了利用调Q Nd:YAG激光对硅片的激光划片,得出了刻槽深度和宽度与工艺参数之间的关系。还从理论上探讨了划片时激光束和材料的相互作用过程,推导了激光束使材料发生熔化和汽化时的......
[期刊论文] 作者:齐军,王昆林,梁绵长,朱允明,
来源:微细加工技术 年份:1999
激光划片是半导体工业中一种有效的划片方法。目前在半导体材料划片中多采用调 Q Nd: Y A G 激光器。脉冲重复频率是这种激光器的一个重要参数,它影响着激光器的平均输出功率、脉冲......
[期刊论文] 作者:朱允明,张人佶,窦建清,梁绵长,
来源:中国激光 年份:1993
本文用X射线衍射法研究了45号钢基体上镍基热喷涂层经激光熔凝处理后的残余应力。In this paper, X-ray diffraction method was used to study the residual stress of th...
[期刊论文] 作者:齐军,王昆林,梁绵长,朱允明,方鸣岗,虞孝舜,
来源:激光与红外 年份:1999
研究了对InSb的激光划片过程,得出了刻槽深度和宽度随着脉冲重复频率、工作电流和刻划速度的变化规率。The laser scribing process of InSb was studied. The variation rate o...
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