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[学位论文] 作者：楼进峰,,
来源： 年份：2014
传统的高精度MEMS加速度传感器，常用机械振动台进行标定，这种标定方法操作繁琐、标定效率低下。而随着高精度MEMS传感器大批量生产，振动台逐个标定的方法弊端更加明显，无法满足批......
[期刊论文] 作者：董林玺,楼进峰,,
来源：传感技术学报 年份：2013
研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法,模拟机械振动台标定,提高标定效率和降低标定成本,并从理论上分析了DRIE工艺误差对传感器自我标定精度的影响。分析的传感器模型...
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