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[期刊论文] 作者：武咏琴,李刘合,张彦华,胡亚伟,刘佑铭,蔡荀,
来源：新技术新工艺 年份：2004
论述了TiN薄膜的常用制备方法,工艺参数对膜结构、性能等的影响,展望了TiN薄膜制备的进一步发展趋势....
[期刊论文] 作者：李刘合, 武咏琴, 崔旭明, 张海泉, 张彦华, 夏立芳,,
来源：金属学报 年份：2004
分别采刚带有和不带有弯曲弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法,在不同镀膜电流以及不同基片偏流下分别制备了类金痧刚石碳膜,对比了不同结构下类金刚石碳膜的Raman光潜特点.对...
[期刊论文] 作者：李刘合,武咏琴,崔旭明,张海泉,张彦华,夏立芳,朱剑豪,
来源：金属学报 年份：2004
分别采刚带有和不带有弯曲弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法,在不同镀膜电流以及不同基片偏流下分别制备了类金痧刚石碳膜,对比了不同结构下类金刚石碳膜的Raman光潜特点.对...
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