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[期刊论文] 作者：郭丽, 武纹平, 陈丽,,
来源：山西化工 年份：2018
针对太阳能电池镀膜工艺中的沉积时间DLV手动录入易出错问题,提出了沉积步骤优化设计方案。该方案补充了DLV防错程序,使得操作员第一时间发现异常报警能及时处理,有效地降低...
[期刊论文] 作者：郭丽,武纹平,陈丽,
来源：人工晶体学报 年份：2018
研究了在真空与氮气两种环境中不同的退火温度和退火时间对氮化膜薄膜性能影响,测试了退火后氮化硅薄膜的膜厚、折射率、少子寿命以及电性能参数。结果表明,多晶硅管式PECVD...
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