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[会议论文] 作者:吴凤声,李瑞,段治安, 来源:1986年中日电子敏感技术科学讨论会 年份:1986
该文介绍了应用SoS材料研制成功的压力传感器。该传感器的显著特点是:耐高温,它的工作温度(-55°C~300°C)比全硅型半导体压力传感器上限温度高出200°C以上;它是一种宽频响(高频)的......
[期刊论文] 作者:刘晓为,张国威,刘振茂,郭青,高家昌,范茂军,段治安,崔光浩, 来源:传感器技术 年份:1990
一、前言 现代航空、汽车发动机以及石油化工领域常常需要对200℃以上高温范围的压力进行检测。200℃以上温度工作的高温压力传感器一般可采用SOS或绝缘衬底上多晶硅结...
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