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[期刊论文] 作者：段雪,邓建国,刘英坤,王书明,苏丽娟,韩东,林率兵,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2005
分析了用反应离子刻蚀(RIE)系统刻蚀多层难熔金属的可行性.研究了用下电极表层为阳极氧化铝的RIE完整刻蚀Au/Pt/TiW/Ti四层金属时氧化铝在Ar/SF6和Ar/CF4等离子体中对聚合作...
[会议论文] 作者：段雪;邓建国;刘英坤;王书明;苏丽娟;韩东;林率兵;,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
本文分析了用反应离子刻蚀系统(RIE)刻蚀多层难熔金属的可行性,研究了用下电极表面材料为阳极氧化铝的RIE连续刻蚀Au、Pt、W、Ti四层难熔金属的刻蚀技术.通过实验证明了阳极...
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