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[期刊论文] 作者：毛赣如,曲宏伟,
来源：测控技术 年份：1996
介绍多晶硅压力传感器，由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离，因而提高了传感器的工作温度。实验表明，该类传感器具有灵敏度高，精度高、温度特性好、工作温限高等特点。......
[期刊论文] 作者：张维新,毛赣如,
来源：电子测量与仪器学报 年份：1996
本文报道了一种触发器型压力传感器，对这类传感器的电路结构和工作原理进行了理论分析。详细讨论了影响传感器特性的四种因素。定量地分析了调控三角波电压对传感器测量灵敏度......
[期刊论文] 作者：张维新,毛赣如,
来源：天津大学学报 年份：1996
研制一种多晶硅压力传感器．它采用一氧化硅介质膜隔离代替ｐ－ｎ结隔离，提高了工作温度；通过控制掺杂浓度，改善了温度特性．实验表明，该传感器灵敏度高，工作温限高，温度漂移小．......
[期刊论文] 作者：张维新,毛赣如,
来源：半导体学报 年份：1996
本文介绍一种新型集成压力传感器，它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合，交幸导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起、制作触发器型集成压力传感器，文章对该类传感器......
[期刊论文] 作者：毛赣如,曲宏伟,
来源：微电子学 年份：1996
触发器型压力传感器具有灵敏度高，压力测量线性范围可调和能输出数字量等特点，论述了这类新型传感器的工作原理和特性，并重点分析了噪声对传感器特性的影响。为了改善传感器的特......
[期刊论文] 作者：毛赣如,刘凌,
来源：天津大学学报 年份：1995
利用红外吸收谱等微观分析对氧化硅和氮化硅薄膜的成分和结构进行了研究。采用高频Ｃ－Ｖ测试和准静态离子电流法测量了氧化硅、氮化硅及其复合膜的界面特性，结果表明ＰＥＣＶＤＳｉＯ２－ＳｉＮ双层结构的复合......
[期刊论文] 作者：石争,毛赣如,
来源：传感器技术 年份：1990
本文对多晶硅电阻的温度系数进行了研究,随着掺杂浓度的增大,多晶硅电阻的温室系数从负值变到正值。实验结果可用Seto模型进行解释。...
[期刊论文] 作者：毛赣如,原小杰,
来源：太阳能学报 年份：1988
本文报道了用等离子体增强化学气相淀积(简称PECVD)氮化硅作硅太阳电池减反射膜的实验结果。利用红外吸收光谱、俄歇电子能谱、椭圆偏振仪及C—V测试等分析方法研究了氮化硅...
[期刊论文] 作者：姚素英,毛赣如,
来源：天津大学学报 年份：1997
介绍了多晶硅压力传感器的温度特性。重点研究了ＬＰＣＶＤ．Ｐｏｌｙ－Ｓｉ膜的掺杂浓度对传感器温度特性的影响。通过理论分析和实验研究，找到了实现传感器温度自补偿的最佳掺杂浓度值。获得了工作温度......
[期刊论文] 作者：姚素英,毛赣如,
来源：微电子学 年份：1997
分析研究了多晶硅电阻对半导体高温压力传感器温度特性的影响，找到了改善传感器温度性能的最佳途径。研制出工作温度为２５０℃、压力量程为０－１ＭＰａ、灵敏度大于４０ｍＶ／ｍＡ·ＭＰａ的传感器。......
[期刊论文] 作者：毛赣如,姚素英,
来源：电子测量与仪器学报 年份：1996
本文论述了一种新颖的集成磁敏传感器，它是以互补三漏ＭＯＳ晶体管为磁敏器件，采用半导体集成电路技术，将放大电路，偏置电路与磁敏集成在同一芯片上。该传感器具有灵敏度高，功耗低和体积......
[期刊论文] 作者：毛赣如,姚素英,
来源：天津大学学报 年份：1997
论述了一种新型多晶压力传感器。它采用矩形双岛硅膜结构，多晶硅作应变电阻，二氧化硅介质膜作隔离，用集成电路工艺和微机械加工技术制作 ，因而，传感器具有灵敏度高和高等特点，利用......
[期刊论文] 作者：张维新,毛赣如,王建华,
来源：电子测量与仪器学报 年份：1996
本文报道了一种触发器型压力传感器，对这类传感器的电路结构和工作原理进行了理论分析。详细讨论了影响传感器特性的四种因素。定量地分析了调控三角波电压对传感器测量灵敏度......
[期刊论文] 作者：张维新,楼利民,毛赣如,
来源：半导体学报 年份：1993
本文介绍了一种新颖的集成三漏CMOS磁敏传感器。报道了该传感器的电路原理、版图设计及其研制结果。它具有结构简单、磁灵敏度高和使用方便等特点,且制造工艺与标准铝栅CMOS...
[期刊论文] 作者：毛赣如,姚素英,曲宏伟,
来源：电子测量与仪器学报 年份：1996
本文论述了一种新颖的集成磁敏传感器。它是以互补三漏MOS晶体管为磁敏器件，采用半导体集成电路技术，将放大电路，偏置电路与磁敏元件集成在同一芯片上。该传感器具有灵敏度高、......
[期刊论文] 作者：毛赣如,刘凌,田瑞芬,
来源：天津大学学报 年份：1995
利用红外吸收谱等微观分析对氧化硅和氨化硅薄膜的成分和结构进行了研究．采用高频Ｃ－Ｖ测试和准静态离子电流法测量了氧化硅、氯化硅及其复合膜的界面特性，结果表明ＰＥＣＶＤＳｉＯ２－ＳｉＮ双层结构的复合膜......
[期刊论文] 作者：姚素英,毛赣如,曲宏伟,张维新,
来源：Transactions of Tianjin University 年份：1998
介绍一种由敏感元件和双稳态触发器电路组成的新型半导体集成传感器，该传感器具有灵敏度高和数字量输出的特点．论述了传感器的工作原理和结构，详细分析了噪声对传感器特性的影响......
[期刊论文] 作者：毛赣如,姚素英,曲宏伟,李永生,
来源：天津大学学报 年份：1997
论述了一种新型多晶硅压力传感器．它采用矩形双岛硅膜结构，多晶硅作应变电阻，二氧化硅介质膜作隔离，用集成电路工艺和微机械加工技术制作．因而，传感器具有灵敏度高和工作温度高等特......
[期刊论文] 作者：张维新,毛赣如,姚素英,曲宏伟,
来源：天津大学学报 年份：1996
研制一种多晶硅压力传感器．它采用一氧化硅介质膜隔离代替ｐ－ｎ结隔离，提高了工作温度；通过控制掺杂浓度，改善了温度特性．实验表明，该传感器灵敏度高，工作温限高，温度漂移小．Developed a......
[期刊论文] 作者：毛赣如,姚素英,曲宏伟,张维新,
来源：测控技术 年份：1996
介绍多晶硅压力传感器，由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离，因而提高了传感器的工作温度。实验表明，该类传感器具有灵敏度高、精度高、温度特性好、工作温限高等特点。......
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