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[学位论文] 作者：汤正杰,,
来源：电子科技大学 年份：2020
MEMS压力传感器是MEMS传感器中使用最广泛的器件,具有体积小,无线无源,成本低等优点。目前主流的MEMS压力传感器都是传统的压阻式Si基压力传感器。随着航天,汽车电子,石油勘探等行业的快速发展,对超过100℃的高温环境压力的特种压力传感器的需求剧增。然而传统......
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