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[会议论文] 作者：汪沁[1]郭涛[1]张峰[1]李伟[2],
来源：第三届全国大学生创新论坛·2010全国大学生学术年会 年份：2010
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法制备非化学计量比氢化非晶碳化硅(a-SiC:H)薄膜材料,借助紫外可见(UV-Vis)光谱、激光拉曼(Raman)光谱和傅里叶变换红外(FTIR...
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