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[期刊论文] 作者：蒲红斌,陈治明,李留臣,封先锋,张群社,沃立民,黄媛媛,
来源：人工晶体学报 年份：2004
采用有限元法,对热壁CVD法SiCGe合金生长炉中加热组件的感应加热和温度分布进行了研究.分析了感应线圈匝数和石墨衬托的厚度对磁矢势和温度分布的影响,获取了感应线圈数越多...
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