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[会议论文] 作者：洪伟;宋洪君;季一勤;,
来源：2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会 年份：2003
综述了类金刚石膜的需求背景,并结合物理气相沉积和化学气相沉积两方面介绍了国内外技术发展状况,文中主要侧重讨论射频等离子体放电化学气相沉积、离子束化学气相沉积和脉冲...
[会议论文] 作者：洪伟, 宋洪君, 季一勤, 李谨,,
来源： 年份：2004
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