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[期刊论文] 作者:浦树德,王旗, 来源:半导体光电 年份:1995
综述了国内外同行对硅材料中微缺陷的有关研究,叙述了微缺陷(下称MD)对硅雪崩光电探测器(Si-APD)性能的影响和消除措施,介绍了目前已有的检测方法,最后进行了讨论。......
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