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[期刊论文] 作者：渡道紘二,王泉清,
来源：真空 年份：1979
1、前言 近十几年来,油扩散泵在工艺上已有了显著的发展。近来,不使用液氮冷阱可获得10-9托的极限真空度,同一口径的泵抽速几乎提高了一倍;最大允许反压强及最大流量也大幅度...
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