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[学位论文] 作者：游侠飞,
来源： 年份：2012
加速度计是一种重要的惯性传感器,它被广泛地运用在惯性导航、消费电子、汽车电子和地质勘探等关乎国计民生的各个领域。电容式MEMS加速度计具有分辨率高、动态范围大、温度特性好等优点,从而得到了广泛的应用。本论文着眼于实验室研制的MEMS加速度计的性能现状......
[期刊论文] 作者：游侠飞,吴昌聚,郑阳明,金仲和,,
来源：传感技术学报 年份：2012
残余应力对MEMS器件的力学性能、可靠性和寿命都有较大的影响。基于MEMS电容式加速度计,采用热结构耦合场分析方法,对热应力的影响进行了仿真分析,并和实验结果进行比较。结...
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