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[学位论文] 作者：游卫龙,
来源：中国科学院大学 年份：2016
近年来，MEMS谐振器由于极小尺寸、高Q值以及CMOS兼容性好等方面的优势而被广泛研究用于频率基准源。MEMS谐振器应用于频率基准源时遇到的最大的挑战是需要较高的频率稳定度和...
[期刊论文] 作者：张磊,游卫龙,杨恒,李昕欣,,
来源：电子设计工程 年份：2016
硅基MEMS振荡器的频率温度系数高达-30 ppm/℃,是石英晶体振荡器的100倍以上,因此必须进行频率温度补偿。静电反馈是一种低功耗补偿技术,但是静电力小,对于频率较高的振荡器...
[期刊论文] 作者：杨力建,游卫龙,张磊,杨恒,李昕欣,,
来源：传感器与微系统 年份：2016
MEMS谐振式传感器具有精度高、准数字输出、抗干扰能力强等特点,高精度压力传感器、应力传感器等多采用谐振式工作原理。频率温度系数补偿是实现高精度谐振式传感器的关键技术。通过实验研究了利用重掺杂改善硅频率温度系数的技术。实验表明:P型掺杂浓度达到7×......
[会议论文] 作者：张磊,游卫龙,王小飞,李欣昕,杨恒,杨力建,
来源：2016年上海市研究生学术论坛——电子科学与技术 年份：2016
本文介绍了一种均匀加热的微型恒温控制振荡器,伸张模态的谐振器工作于N++[100]晶向的温漂转折点.该谐振器通过在谐振结构锚点的上的多晶硅加热电阻进行加热并将其温度稳定到...
[会议论文] 作者：游卫龙,张磊,王小飞,杨力建,杨恒,李欣昕,
来源：2016年上海市研究生学术论坛——电子科学与技术 年份：2016
本文介绍了一种均匀加热的微型恒温控制振荡器,伸张模态的谐振器工作于N++[100]晶向的温漂转折点.该谐振器通过在谐振结构锚点的上的多晶硅加热电阻进行加热并将其温度稳定到频率转折点附近,谐振器在该转折点时工作时温度系数接近于零.基于微型恒温结构相邻的测......
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