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[期刊论文] 作者：张健,牛夏斌,李建浩,齐振华,
来源：真空 年份：2021
针对传统制铝技术,为提高膜层结合力、阻隔性,采用射频磁控溅射镀铝工艺,制备纯铝高阻隔性膜层,在PET塑料薄膜表面沉积纯铝的实验.通过对射频电源功率和溅射气压等参数的改变...
[期刊论文] 作者：张健,牛夏斌,孟辉波,齐振华,李建浩,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
利用真空反应蒸发镀膜技术在PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)表面沉积AlOx+Al+AlOx三层镀层,通过改进传统蒸发镀膜设备,增添匀气管,控制氧气通入位置及流量,研究了氧气流量对膜层...
[期刊论文] 作者：张健,齐振华,李建浩,牛夏斌,徐全国,宗世强,
来源：真空 年份：2022
利用直流磁控溅射法在有机玻璃基底上沉积掺杂氧化铟锡（ITO）透明导电薄膜，在室温条件下，研究了溅射功率、溅射气压、靶基距和氧氩流量比等工艺参数对ITO薄膜光电性能的影响。结果表明，ITO薄膜的透光率随溅射功率和靶基距的增大而减小，当溅射功率为110W、靶基距为70mm......
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