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[期刊论文] 作者：王云庆, 李庆祥, 薛实福, 周兆英,,
来源：仪器仪表学报 年份：1998
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度......
[期刊论文] 作者：王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英,
来源：仪器仪表学报 年份：
智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、.........
[期刊论文] 作者：王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英,
来源：机械设计 年份：1997
在触针式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是保证触针与被测表面之间“接触测量”的关键部件。本文采用十字片簧弹性支承作为触针的运动支承，并在其特性分析的基础上，进行了参数......
[期刊论文] 作者：王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英,
来源：电子工业专用设备 年份：1995
接触式台阶测量仪是ＬＳＩ生产工艺中的重要检测仪器，其中，触针是关键部件之一。本文叙述了触针对膜层台阶表面测量的影响，包括：触针的形状、尺寸对表面形貌测量中的水平分辨力的限制；选......
[期刊论文] 作者：王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英,
来源：光学精密工程 年份：1994
在大规模集成电路生产中，对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度，自动化的线宽测量仪。阐述了其原理，构成及设计中有关问题。经实验表明......
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