搜索筛选:
搜索耗时1.7012秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 3 篇相符的论文内容
类      型:
[学位论文] 作者:王兵冰, 来源:北京大学 年份:2006
目前,MOSFET的特征尺寸已经进入亚100nm量级,短沟效应、DIBL(漏致势垒降低)效应等因素的影响越来越严重,器件继续按比例缩小将面临更大的挑战。为了解决这些问题,人们已经提出了......
[期刊论文] 作者:汪洋,王兵冰,黄如,张兴,, 来源:固体电子学研究与进展 年份:2006
短沟道效应是MOS器件特征尺寸进入Sub-100nm后必须面对的关键挑战之一。Halo结构能够有效地抑制短沟道效应,合理的Halo区掺杂分布会极大地改善小尺寸器件性能。文中采用器件和...
[期刊论文] 作者:王兵冰,汪洋,黄如,张兴,, 来源:固体电子学研究与进展 年份:2007
通过模拟和实验研究了不同的halo注入角度的NMOSFET,研究发现halo的注入角度越大,热载流子效应的退化越严重。考虑到由于热载流子的注入造成栅氧化层损伤,使器件可靠性变差,halo......
相关搜索: